【簡介：】MEMS，即微機電系統(tǒng)，是一種結合機械和電子的半導體技術，最初大量用于汽車安全氣囊，而后以MEMS傳感器的形式被大量應用在汽車的各個領域，隨著MEMS技術的進一步發(fā)展，以及應用終端“輕
MEMS，即微機電系統(tǒng)，是一種結合機械和電子的半導體技術，最初大量用于汽車安全氣囊，而后以MEMS傳感器的形式被大量應用在汽車的各個領域，隨著MEMS技術的進一步發(fā)展，以及應用終端“輕、薄、短、小”的特點，對小體積高性能的MEMS產品需求增勢迅猛，消費電子、醫(yī)療等領域也大量出現(xiàn)了MEMS產品的身影。
Apple的iPhone系列無疑是加速MEMS在手機應用的推動者，在iPhone之后越來越多基于MEMS的手機應用開始被推廣。MEMS在手持裝置上的組件包含陀螺儀、新一代三軸加速度計、壓力傳感器以及模塊設計等，應用上除了可觸控移動瀏覽頁面、傾斜手機以卷動網頁、改變手機方向角度顯示圖片外，也可作為計步器、導覽接口、LBS定位信息服務、硬盤地心引力防撞保護、個人慣性導航、照相防手震強化影像穩(wěn)定度、智能互動游戲等。內建MEMS功能的手機也可作為檢測絕對氣壓或高度的感測裝置使用；手機MEMS傳感器亦能檢測用戶拿起手機是否靠近耳邊皮膚、藉此自動關閉手機顯示屏幕來節(jié)省電源；也可將手機面朝下放在桌上便可關閉鈴聲等。
2008年在經濟危機的影響下，全球的消費電子產品及汽車銷量均有下降，并且這種下降的趨勢在2009年繼續(xù)蔓延。美國汽車兩大巨頭面臨破產的風險，這都對MEMS的市場應用產生了強烈的沖擊。盡管如此，MEMS的未來前景仍然充滿希望，因為消費電子的出貨量有所下降但單一產品中的MEMS應用比例在增加，而且歐美國家在汽車ESC、TPMS等領域出臺了強制性配置法規(guī)也確保了MEMS產品的穩(wěn)定供應。
MEMS產品多為定制化生產，對晶圓代工廠的要求也比較高，并不像標準CMOS制程用1個制程就可替不同客戶代工，因此大陸的晶圓代工廠幾乎沒有涉足。不過2008年10月底，中芯國際宣布進入MEMS代工行列。2009年初，方正微電子高層訪問團拜訪臺灣多個MEMS設計公司。另外有消息稱，上海和無錫有建設MEMS產業(yè)園的計劃，中國的MEMS業(yè)者也在積極尋找機會分享MEMS產業(yè)所帶來的機遇。
